陳志欣、何宗洋、黃致為

本技術針對半導體製程中微量氨氣（NH₃）即時偵測之需求，開發出一套結合智慧型變色試紙與光學模組的創新感測系統，成功突破傳統捲帶式偵測設備在靈敏度、耗材成本與系統擴充性等方面的限制。其核心創新包括：具高色差響應之染料配方開發、色彩數據轉換為濃度資訊的演算法設計，以及模組化的嵌入式光學讀取裝置，整合後可實現ppb等級高靈敏度、低耗材且可量產的氨氣感測功能。 目前市售氨氣監測系統多仰賴進口捲帶與專用設備，不僅偵測極限多停留於ppm等級，亦存在成本高、供應鏈風險大、維修與擴展不便等問題，導致系統在高潔淨環境中部署受限。相較之下，本技術可自行生產具高專一性之變色試紙，模組化設計亦大幅降低導入門檻與維護成本，並能部署於產線關鍵節點、設備端或邊界區域，提供空間解析度更高的氣體濃度監控能力。 目前已完成染料開發、演算法驗證與原型機建構，並與半導體設備商及感測應用單位合作進行導入測試與評估，具備商品化與國產替代潛力。此外，藉由更換試紙配方，本系統亦可擴展至其他腐蝕性或毒性氣體（如PH₃、AsH₃），具平台化應用潛力，未來可望形成多點、分散式的智慧氣體監控網絡。 綜合而言，本創新整合材料科學、光學設計與AI演算法，展現高度跨域性與技術自主性，能有效提升製程良率與風險控管能力，為半導體與高科技產業提供具戰略價值之次世代AMC感測解決方案。